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先进计算光刻（精装）

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装帧:平装
作者:李艳秋
ISBN:9787030781246
出版日期:2024-10-2
书名:先进计算光刻（精装）
出版社:科学出版社
开本:24cm

本书介绍作者在20余年从事光刻机研发中，建立的先进计算光刻技术，包括矢量计算光刻、快速-全芯片计算光刻、高稳定-高保真计算光刻、光源-掩模-工艺多参数协同计算光刻等，能够实现快速-高精度-全曝光视场-低误差敏感度的高性能计算光刻。

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