本书围绕MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的典型结构、误差机理、关键技术、制造工艺和测试技术等问题,由基本原理和公式推导出发,紧密结合工程实际,系统深入地对高性能MEMS惯性仪表技术进行了阐述。本书共7章,第1章概述;第2章介绍了MEMS陀螺仪典型结构及误差机理;第3章介绍了高性能MEMS陀螺仪关键技术;第4章介绍了高性能MEMS加速度计典型结构及误差机理;第5章介绍了高性能MEMS加速度计关键技术;第6章介绍了高性能MEMS惯性器件工艺技术;第7章介绍了高性能MEMS惯性器件测试技术。