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微纳制造与微机电系统

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  • 装帧:平装
  • 作者:李经民, 刘冲, 王立鼎编著
  • ISBN:9787030793584
  • 出版日期:2024-8-1
  • 书名:微纳制造与微机电系统
  • 出版社:科学出版社
  • 开本:26cm
本书共八章,内容包括:微机电系统概述、体硅微加工技术、表面微加工技术、硅基微加工工艺实例、微传感器、微执行器、微机电系统典型应用等。
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