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微细加工技术

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  • 装帧:平装
  • 作者:周丽杰 编著
  • ISBN:9787576710090
  • 出版日期:2024-1-1
  • 书名:微细加工技术
  • 出版社:哈尔滨工业大学出版社
  • 开本:26cm
本书共11章，内容包括：微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。
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