本书主要介绍了太赫兹辐射源之一的真空电子器件行波管在太赫兹频段下,其高频互作用电路的MEMS微纳制造方法,主要频段包括0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz,根据不同频段的折叠波导制备的特点,分别介绍了超精密电火花线切割技术、LIGA技术、UV-LIGA技术和DRIE技术的制备方法和过程,所尝试的工艺主要包括嵌丝形成电子注通孔,光刻胶形成折叠波导蛇形线,微纳米级晶粒的精密微细电铸,SOI深硅刻蚀等,并通过实验验证对这些工艺技术进行了总结。