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微机电系统工程基础

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  • 装帧:平装
  • 作者:蔡永刚
  • ISBN:9787512440227
  • 出版日期:2024-1-1
  • 书名:微机电系统工程基础
  • 出版社:北京航空航天大学出版社
  • 开本:26cm
本书力图融汇各个领域的微纳制造技术于一体,使读者通过阅读全书可以获得对微机电系统工程的全面认识。同时,讲解MEMS设计的基础力学和传感原理的知识,并以典型的传感器和驱动器为案例进行设计方面的介绍。
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