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一本书读懂芯片制程设备

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装帧:平装
作者:王超
ISBN:9787111720416
出版日期:2025-1-1
书名:一本书读懂芯片制程设备
出版社:机械工业出版社
开本:24cm

本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

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