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先进光学元件微纳制造与精密检测技术

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  • 装帧:平装
  • 作者:郭隐彪、 杨平 编著
  • ISBN:9787118096132
  • 出版日期:2014-11-1
  • 书名:先进光学元件微纳制造与精密检测技术
  • 出版社:国防工业出版社
  • 开本:24cm
本书以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。
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