本书介绍了微纳米技术领域的各种微纳运动系统及其相关实现技术。全书共7章：第1章主要是微纳技术及微纳技术应用与发展的综述；第2章主要介绍了基于智能材料的常见的微纳驱动技术类型及特性；第3章主要介绍了微纳运动检测技术；第4章概括性地介绍了微纳运动系统控制策略；第5章介绍了基于直线电机的单自由度微纳定位实现技术，主要讨论了电磁式和压电超声式两种情况；第6章主要介绍了单自由度宏微复合微纳运动的实现技术，并讨论了非线性因素对微纳运动性能的影响和补偿策略；第7章重点介绍了本书作者提出的宏宏复合微纳运动的实现技术、性能特点及低速性能。