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紫外固体激光微细加工技术

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  • 装帧:平装
  • 作者:齐立涛
  • ISBN:9787560392417
  • 出版日期:2024-6-1
  • 书名:紫外固体激光微细加工技术
  • 出版社:哈尔滨工业大学出版社
  • 开本:21cm
本书介绍了紫外固体激光微细加工技术的理论、方法及应用。内容包括了紫外固体激光器、紫光激光微细加工系统及检测方法、紫外激光微细加工技术的应用、激光微细加工的波长优化、紫外固体激光微细加工单晶硅和碳化硅、激光加工安全防护及标准等。
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