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多晶硅和石英玻璃的联合制备法

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  • 装帧:平装
  • 作者:刘寄声 著
  • ISBN:9787502444037
  • 出版日期:2008-1-1
  • 书名:多晶硅和石英玻璃的联合制备法
  • 出版社:冶金工业出版社
  • 开本:26cm
本书以传统的多晶硅和石英玻璃的生产方法为基础,介绍了多晶硅和石英玻璃联合制备法的工艺过程、主要设备、操作要点及影响产品质量的因素,提出了降低多晶硅生产成本的几个途径,并总结了相关安全生产的知识。
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