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硅加工中的表征

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装帧:平装
作者:（美）布伦协尔　等主编
ISBN:9787560342801
出版日期:2014-1-1
书名:硅加工中的表征
出版社:哈尔滨工业大学出版社
开本:23cm

本书内容包括：材料表征技术在硅外延生长中的应用；多晶硅导体；硅化物；铝和铜基导线；级钨基导体；阻隔性薄膜等。

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