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磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能

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  • 装帧:平装
  • 作者:肖剑荣
  • ISBN:9787517074397
  • 出版日期:2024-1-1
  • 书名:磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能
  • 出版社:中国水利水电出版社
  • 开本:24cm
本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系，探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。
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