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折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

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  • 装帧:平装
  • 作者:谢长生
  • ISBN:9787118122848
  • 出版日期:2021-10-1
  • 书名:折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
  • 出版社:国防工业出版社
  • 开本:24cm
本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构,开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础,有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法,建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。
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