本书共分四部分：第一部分为引论与建模(包括：引论，光学和非光学相互结合的方法表征多孔氧化锆样品，宽光谱区薄膜表征的通用色散模型，从头计算预测光学特性)；第二部分为分光光度法和椭圆偏振光谱法(包括：薄膜的反射光谱成像法光学表征，成像分光光度法的数据处理方法，单层膜与多层膜的在线和离线分光光度法)；第三部分为缺陷和波纹的薄膜表征(包括：缺陷薄膜的光学表征，光学薄膜的扫描探针显微技术表征，共振波导光栅结构，深紫外线栅偏振片的偏振控制)；第四部分为散射和吸收(包括光学薄膜的粗糙度与散射，光学薄膜中的吸收和荧光测量，光学薄膜表征的环形腔衰荡技术)。