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中国科学技术大学校友文库：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料

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装帧:平装
作者:林成鲁编著
ISBN:9787312022333
出版日期:2009-6-1
书名:中国科学技术大学校友文库：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料
出版社:中国科学技术大学出版社
开本:24cm

本书收集了纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括： SOI — — 纳米技术时代的高端硅基材料进展、SOI新材料的制备科学、SOI材料与器件特有的物理效应、绝缘体上锗硅新结构和应变硅的制备科学、SOI技术的若干应用研究等。

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