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微机电系统工程基础

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  • 装帧:平装
  • 作者:王琪民,刘明侯,秦丰华编著
  • ISBN:9787312024689
  • 出版日期:2010-1-1
  • 书名:微机电系统工程基础
  • 出版社:中国科学技术大学出版社
  • 开本:23cm
本书共11章, 较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等, 还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和尺度传热的基础知识等。
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