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集成电路制造工艺

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装帧:平装
ISBN:9787121228995
出版日期:2023-08
书名:集成电路制造工艺
出版社:电子工业出版社
作者:孙萍主编
开本:26cm

本书围绕微电子产业链的发展状况，以集成电路制造工艺流程为主线，介绍了集成电路从衬底制备，芯片制造到封装测试的工艺原理及工艺操作流程，同时以较先进的CMOS

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