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硅微机械陀螺误差建模理论与方法

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  • 装帧:平装
  • 作者:申强等著
  • ISBN:9787030739490
  • 出版日期:2023-03
  • 书名:硅微机械陀螺误差建模理论与方法
  • 出版社:科学出版社
  • 开本:24cm
本书共9章,以硅微机械陀螺为研究对象,通过数学物理方程推导微机电系统宏模型,采用对称拓扑设计微机械陀螺结构,制订简单、高效的工艺加工微机械陀螺,根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路,从而阐明硅微机械陀螺误差产生机理,并为减小误差提供研究思路。
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