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半导体集成电路的可靠性及评价方法

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装帧:平装
ISBN:9787121271601
出版日期:2024-07
书名:半导体集成电路的可靠性及评价方法
出版社:电子工业出版社
作者:章晓文，恩云飞编著
开本:24cm

本书共11章，以硅集成电路为中心，重点介绍了半导体集成电路及其可靠性的发展演变过程、集成电路制造的基本工艺、半导体集成电路的主要失效机理、可靠性数学、可靠性测试结构的设计、MOS场效应管的特性、失效机理的可靠性仿真和评价。

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