本书以作者在西北工业大学物理科学与技术学院的“薄膜物理学”课程讲义为蓝本，参考国内外薄膜物理学经典教材，主要论述薄膜物理与薄膜生长技术的基本内容，系统介绍薄膜的形成与生长、物理化学制备薄膜的原理与方法，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜、化学气相沉积、脉冲激光分子束外延法等，注重激发学生的学习兴趣，提升学生的学习能力。