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（社版）MEMS法珀腔光学声传感器（此书不退货）

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  • 装帧:平装
  • 作者:郑永秋
  • ISBN:9787121466953
  • 出版日期:2023-11-1
  • 书名:（社版）MEMS法珀腔光学声传感器（此书不退货）
  • 出版社:电子工业出版社
  • 开本:23cm
本书论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。
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